Jun.-Prof. Dr. Jan Benedikt

Experimentalphysik, insbesondere gekoppelte Plasma-Festkörpersysteme

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Ruhr-Universität Bochum
44780 Bochum
NB 5/127

Forschung

August 2000 – August 2004

Untersuchung von expanding thermal plasmas in Argon/Acetylen mit Hilfe von Laser Absorptionsspektroskopie, Massenspektrometrie und optischem Emissionsspektroskopie. Optimierung von Beschichtungsbedingungen von amorphen Kohlen-Wasserstoffschichten und Messung der Schichteigenschaften mit spektroskopischer Ellipsometrie, Rasterkraftmikroskopie und Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie. Modellierung der plasmachemischen Reaktionen.

September 2004 – heute

Untersuchung von plasmachemischen Reaktionen durch zeitaufgelöste absolut-kalibrierte Massenspektrometriemessungen von Neutralteilchen in staubigen C2H2 Plasmen.

Analyse von Wechselwirkung von Niederdruck-Plasmen mit Bakterien und Biomolekülen in Plasma-Sterilisation mit Niederdruck- und Atmosphärendruck-Entladungen. Untersuchen von elementaren Inaktivierungsmechanismen in Strahlexperimenten mit absolut-kalibrierten Ionen- und Radikalstrahlen.

Erforschung von Atmosphärendruck-Mirkoplasmen. Im Fokus steht insbesondere Plasma-Diagnostik, Funktionalisierung von Polymeroberflächen und Abscheidung dünner Schichten bei atmosphärischem Druck. 

Zukunft:

Untersuchung der Wechselwirkung zwischen Plasmen und dem umgebenden Festkörper unter Atmosphärendruck- und Hochdruck-Bedingungen in Plasmen mit Abmessungen im Submillimeter- und Mikrometerbereich. Im Fokus stehen i) die Koppelung des Plasmas und des Festkörpers durch z.B. Tunneln der Elektronen aus dem Festkörper und die Verwendung von Halbleiterstrukturen wie z.B. p-n-Übergänge oder Feldeffekttransistoren zum Zünden und Erhalten des Mikroplasmas. Die Strukturen werden mit Hilfe des fokussierten Ionenstrahls in Zusammenarbeit mit dem Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik hergestellt und untersucht. Darüber hinaus werden auch Möglichkeiten erforscht, die Atmosphärendruck Mikroplasmen für Abscheidung von nanostrukturierten dünnen Schichten zu verwenden.

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Zur Person

Ausbildung

1995-2000 Faculty of Applied Science, University of West Bohemia, Pilsen, Tschechische Republik
2000-2004 Doktorand am Centre for Plasma Physics and Radiation Technology Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology, Niederlande
2003 Zweimonatiges Training mit dem Thema: "Laser spectroscopy of epitaxially grown diamond, Department of Electrical Engineering, Osaka University, Japan
2004 Promotion in Physik mit Prädikat cum laude, Eindhoven University of Technology, Titel der Dissertation: "Acetylene Chemistry in Remote Plasmas: implications for the a-C-H Growth Mechanism"

Beruflicher Werdegang

2004-2010 Wissenschaftlicher Mitarbeiter, Arbeitsgruppe Reaktive Plasmen an der Fakultät für Physik und Astronomie der Ruhr-Universität Bochum
2010-03/2017 Juniorprofessor, Gekoppelte Plasma-Festkörpersysteme an der Fakultät für Physik und Astronomie der Ruhr-Universität Bochum
seit 04/2017 Universitätsprofessor für Experimentelle Plasmaphysik an der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakultät der Christian-Albrechts-Universität zu Kiel

Mitgliedschaften und Engagement

  • Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG)
  • Europäische Physikalische Gesellschaft (EPS)
  • Tschechische Physikalische Gesellschaft (CFS)
  • Amerikanische Vakuumgesellschaft (AVS)

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